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機(jī)組采用最新立式結(jié)構(gòu)干式螺桿真空泵及羅茨真空泵組成。有利于工藝中抽除的液態(tài)和微量固態(tài)成分的快速排出，并且具有低噪音，低能耗等優(yōu)點(diǎn)。