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采用螺桿真空泵為前級(jí)泵，二級(jí)泵為氣冷型羅茨真空泵，主泵為普通型羅茨真空泵撬裝組成，機(jī)組整體抽氣速率達(dá)13500m³/h，真空度可達(dá)0.1Pa，適用于大抽速高真空工藝。